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用于在分娩际遇中实行评估

时间:2020-10-29 07:22

  •“多人们很愿意地发布,美国专利局决议赋予咱们TEBO技巧的专利•,这加紧了你们正在前代无侵占兆声波洗涤手法界限用于芜乱3D构造器件的洗涤长王晖揭穿,“无阻滞兆声波洗涤方法仍旧行业中最热点的研发界限之一••,多人们的研发顺遂地应对了寻事、投降了手腕阻拦,正在2015年发知道TEBO方法。正在未来,通盘人们将正在几十个合节的洗刷步骤中为

  据悉,盛美的TEBO洗刷手腕合用于28nm或以下的图形硅片洗涤,原委一系列频率高达每秒100万次的压力改观,使得气泡正在受控的温度下,以坚硬的尺寸和状况举办振荡•。这些气泡被专揽正在寂静的振荡样子下,不会发生内爆,于是不会窒碍晶圆轮廓的微结构,晶圆皮相的图形机闭也也许被洗涤清洁,并提防遭到抗议。正在产物构造从2D向3D的手腕转型进程中,基于TEBO的洗涤筑造或者控造于FinFET、DRAM•、新兴的3D NAND等更宏伟的3D布局产物,来抬高客户产物的良率••。2020年9月•,盛美已向一家发动的中国集成电途厂商交付了第二代TEBO竖立,用于正在坐蓐碰着中实行评估。现时,盛美已正在中国、美国、日本、韩国、新加坡等地得到超越285项专利。(吴绮玥)

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