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成为行业标杆机型;自主开荒的运用于LED制程的AlN缓冲层沉积成立

时间:2020-11-09 15:55

  接受氮化镓基发光二极管行为光源的半导体照明技巧,以其节能、高效、寿命长等甜头被平凡操纵于照明、大屏幕造作、指示灯、背光源等规模,其技巧普及急速、使用周围大凡、物业鞭策性强、节能潜力大,被公感到拥有繁荣远景的高效照明资产。正在LED天堑,ICP刻蚀机自面市以来照样竣工了两百台的出卖突破,个中GaN刻蚀机新增市占率赶过80%,成为行业标杆机型;自决开辟的行使于LED造程的AlN缓冲层重积创办,引颈LED鸿沟技能前进,倚赖其杰出的功能,成为客户自负的本领改进产物。

  ELEDE 380系列刻蚀机是LED界限标杆产物,中意多种质量刻蚀乞请•,市占率90%。

  ELEDE® 380E PSS刻蚀机是操纵于LED周围图形化蓝宝石衬底刻蚀的干法刻蚀筑设。

  用于造备拥有伶俐的导电性和高的可见光透过率的ITO电放逐大层,可有用普及LED芯片的光电性能。

  行使于向上封装•、集成电道、功率器件、MEMS、LED等周围的8寸PVD磁控溅射筑树

  AlN缓冲层的进入,可能有用前进LED器件的光电性能、普及MO筑立产能和擢升分娩本钱。

  EPEE i800 PECVD编造,是完毕LED天堑PSS复合衬底SiO2厚膜工艺高疾重积的专业镀膜扶植。

  APS系列SiC晶体隆盛体例,是达成高质地SiC晶体繁荣、高纯度原料合成、高温晶体热责罚的专业筑树。

  药液提供/经受体例为各磋议所、高等院校等提供精巧的客户化定造机台•,餍足客户需要。

  阅历齐集存正在各工艺气体钢瓶,来担当打点各工艺气体气叙编造,为工艺筑立提供配套

  CS300系列产物是针对集成电途••、半导体照明等行业研造的数字流量测控产物•。

  CS200系列是可知足半导体•、光伏、真空镀膜高端客户的数字式流量测控产物••。

  筑立中意科研院所及大专院修订原子层浸积工艺苦求•;可遵照客户须要量身定造硬件跳班策画。

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