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上海证券交易所科创板股票上市委员会2019年第7次上市委员会审议会议结果显示

时间:2020-10-08 23:50

  除了公共都真切的光刻机,半导体装备出产中还需求各类装备,国内的中微半导体装备公司仍然可以出产高端刻蚀装备,其5nm刻蚀机仍然批量出产,用于台积电的5nm出产线中。

  中微半导体上周末公布了2019年财报,终年告终交易收入19.47亿元,同比延长18.77%;告终归母净利润1.89亿元,同比延长107.51%。

  按照该公司年报,中微公司开拓的高端刻蚀装备已使用正在国际出名客户65纳米到7纳米的芯片出产线上。

  同时,公司按照优秀集成电途厂商的需求,已开拓出5纳米刻蚀装备用于若干症结设施的加工,并已得回行业当先客户的批量订单——固然中微没有明说,然则这家客户即是台积电,也只要他们量产了5nm工艺。

  目前公司正正在配合客户需求,开拓新一代刻蚀装备和席卷更优秀大马士革正在内的刻蚀工艺,可以涵盖5纳米以下刻蚀需乞降更多区别症结行使的装备。

  正在3D闪存规模,中微半导体电容性等离子体刻蚀装备可行使于64层的量产,同时按照存储器厂商的需求正正在开拓新一代可以涵盖128层症结刻蚀行使以及相对应的极高明宽比的刻蚀装备和工艺。

  其余,中微公司的电感性等离子刻蚀装备已正在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的出产线上量产。

  按照客户的身手成长需求,正正在举行下一代产物的身手研发,以餍足7纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3D NAND芯片等产物的ICP刻蚀需求,并举行高产出的ICP刻蚀装备的研发。

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